Výroba polovodičů je složitý a náročný proces, a protože se poptávka po polovodičích bude zvyšovat, výrobci chtějí výrobní proces v co největší míře automatizovat. Až dosud ale neexistoval žádný mobilní automatizovaný systém výroby polovodičů, který by umožňoval přenos součástí z jednoho kroku na další.
Při výrobě polovodičů se chemický prvek – křemík – zpracovává ve formě destiček, tzv. waferů, ve velmi čistém prostředí. Wafery prochází během výrobního postupu mnoha procesními kroky a poté jsou uloženy do speciálních kazet. A právě manipulace s wafery byla cílem vývojářů firmy Kuka, jehož výsledkem je unikátní systém (podle výrobce první svého druhu na světě) pro automatizovaný přenos a manipulaci s polovodičovými kazetami.
Aplikace vyvinutého robotického řešení se skládá ze standardizovaného automatizovaného vozidla, odlehčeného robota LBR iiwa a sofistikovaného uchopovacího systému. Mobilitu zajišťuje mobilní platforma KMR 200 CR vybavená koly Mecanum, umožňující všesměrový pohyb. O bezpečnost se starají senzory umístěné na platformě, které snímají prostředí v reálném čase, čímž zabraňují kolizím. Díky citlivosti robota instalovaného na platformě je umožněno bezpečně a bez vibrací zacházet s citlivými kazetami waferů.
Jak zdůrazňuje výrobce zařízení, hardware i software jsou certifikovány a navíc z jednoho zdroje. Řešení pro manipulaci s wafery proto hladce zapadá do výrobního systému (MES) výrobců polovodičů. Přenosové objednávky řídí manažer vozového parku integrovaný do softwaru, aby byla zajištěna optimálně automatizovaná výroba, což podle výrobce vede k extrémně krátkým dobám uvedení do provozu, díky čemuž označuje tuto novinku jako „nejpružnější manipulační systém na trhu“.
David Kostolník
Foto: Kuka
